• 銷(xiāo)售熱線(xiàn)：18874256050（羊先生）/15084710648（梁女士）

    400-677-0098
    熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(cháng)爐
    熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(cháng)爐
    產(chǎn)品描述：
    用于氮化硼的化學(xué)氣相涂層與生長(cháng)
    應用范圍：
    OLED坩堝、PBN板材/環(huán)舟、VGF坩堝、LEC坩堝等。產(chǎn)品純度≥99.999%/99.9999%。

    熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(cháng)爐技術(shù)特征

    采用先進(jìn)的進(jìn)控制技術(shù)，能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動(dòng)??；

    多通道工藝氣路，配合旋轉料臺，無(wú)沉積死角；

    多級尾氣處理系統，能高效處理腐蝕性尾氣、固體副產(chǎn)物，環(huán)境友好；

    可選配最新設計的防腐蝕真空機組，持續工作時(shí)間長(cháng)，維修率低；

    適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。


    熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(cháng)爐產(chǎn)品規格

    參數\型號VCVD-0305-BNVCVD-0608-BNVCVD-0612-BNVCVD-0812-BNVCVD-1015-BNVCVD-1218-BNVCVD-1315-BNVCVD-1520-BN
    工作區尺寸 φ×H（mm）300×500600×800600×1200800×12001000×15001200×18001300×15001500×2000
    最高溫度（℃）2000
    溫度均勻性（℃）±5±7.5/±10±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±10/±15±15/±20
    極限真空度（Pa）1-100
    壓升率（Pa/h）0.67
    加熱方式電阻

    以上參數可根據工藝要求進(jìn)行調整，不作為驗收依據，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

    熱解氮化硼化學(xué)氣相生長(cháng)爐配置選擇

    在線(xiàn)留言

    半導體材料熱工裝備

    廣告法聲明

    新廣告法規定所有頁(yè)面不得出現絕對性用詞與功能性用詞。我司嚴格執行新廣告法，已開(kāi)展全面排查修改，若有修改遺漏，請聯(lián)系反饋，我司將于第一時(shí)間修改，我司不接受以任何形式的極限用詞為由提出的索賠、投訴等要求。所有訪(fǎng)問(wèn)本公司網(wǎng)頁(yè)的人員均視為同意接受本聲明。
    • 電話(huà)：18874256050
    • 郵箱：sales5@sinoacme.cn
    国产清纯美女遭强到高潮|1原创国产AV剧情情欲放纵|97久久香蕉国产线看观看|伊人久久大香线蕉综合网站|色综合久久久久久久久五月